| dbo:abstract
|
- La microfabricació és el procés de fabricació d'estructures en miniatura d'escales micròmetres i més petites. Històricament, els primers processos de microfabricació es van utilitzar per a la fabricació de circuits integrats, també coneguts com a "fabricació de semiconductors" o "fabricació de dispositius semiconductors". En les últimes dues dècades sistemes microelectromecànics (MEMS), microsistemes (ús europeu), (terminologia japonesa) i els seus subcamps, /lab-on-a-chip, MEMS òptics (també anomenats MOEMS), RF MEMS, PowerMEMS, BioMEMS i la seva extensió a nanoescala (per exemple NEMS, per a sistemes nanoelectromecànics) han reutilitzat, adaptat o ampliat mètodes de microfabricació. Les pantalles de pantalla plana i les cèl·lules solars també utilitzen tècniques similars. La miniaturització de diversos dispositius presenta reptes en moltes àrees de la ciència i l'enginyeria: física, química, ciència dels materials, informàtica, enginyeria d'ultra precisió, processos de fabricació i disseny d'equips. També està donant lloc a diferents tipus de recerca interdisciplinària. Els principals conceptes i principis de la microfabricació són la , el dopatge, , el gravat, l' enllaç i el poliment. La microfabricació és en realitat una col·lecció de tecnologies que s'utilitzen en la fabricació de microdispositius. Alguns d'ells tenen orígens molt antics, no vinculats a la fabricació, com la litografia o l'aiguafort . El poliment es va prendre en préstec de la , i moltes de les tècniques de buit provenen de la investigació de la física del segle XIX . La galvanoplastia també és una tècnica del segle XIX adaptada per produir estructures a escala , així com diverses tècniques d'estampació i . Per fabricar un microdispositiu, s'han de realitzar molts processos, un darrere l'altre, moltes vegades repetidament. Aquests processos solen incloure dipositar una , modelar la pel·lícula amb les microcaracterístiques desitjades i eliminar (o gravar) parts de la pel·lícula. La metrologia de pel·lícula prima s'utilitza normalment durant cadascun d'aquests passos individuals del procés, per garantir que l'estructura de la pel·lícula tingui les característiques desitjades en termes de gruix ( t ), índex de refracció ( n ) i coeficient d'extinció ( k ), per al comportament adequat del dispositiu. . Per exemple, en la fabricació de xips de memòria hi ha uns 30 passos de litografia, 10 passos d'oxidació, 20 passos de gravat, 10 passos de dopatge i molts altres. La complexitat dels processos de microfabricació es pot descriure pel seu recompte de màscares. Aquest és el nombre de capes de patrons diferents que constitueixen el dispositiu final. Els microprocessadors moderns es fabriquen amb 30 màscares mentre que unes poques màscares són suficients per a un dispositiu o un díode làser. La microfabricació s'assembla a la fotografia d', amb molts patrons alineats entre si per crear l'estructura final. (ca)
- التصنيع الدقيق أو الإنتاج الدقيق (بالإنجليزية: microfabrication or micromanufacturing) هو مصطلح يستخدم لوصف عمليات تصنيع هياكل مصغرة، من أحجام ميكرومتر أصغر حجما. تاريخيا كان المصطلح عاما ويستخدم في منذ وقت قصير لصناعة أشباه الموصلات في تصنيع الدوائر المتكاملة، وقد تم تغطية هذه العمليات من جانب مصطلح آخر وهو تصنيع أجهزة أشباه الموصلات أو تصنيع أشباه الموصلات. التقنية ساهمت في مجال التصغير (بالإنجليزية: Miniaturization ) لمختلف الأجهزة في العديد من مجالات العلوم والهندسة مثل: الفيزياء والكيمياء وعلم المواد، علم الحاسوب، والهندسة فائقة الدقة وعمليات التصنيع، وتصميم المعدات. كما أدت أيضا إلى نشوء أنواع مختلفة من البحوث المتعددة الاختصاصات. (ar)
- La microfabricación se refiere al empleo de técnicas de miniaturización, esencialmente litografías, para producir circuitos integrados o sistemas microelectromecánicos (MEMS). Las técnicas empleadas para producir circuitos integrados son principalmente litografías de superficie. Para la fabricación de sistemas microelectromecánicos se usan principalmente variantes de las litografías de superficie llamadas genéricamente micromaquinación de superficie (Surface micromachining), litografías de volumen (Bulk micromachining) y litografía de rayos X (LIGA). (es)
- Microfabrication is the process of fabricating miniature structures of micrometre scales and smaller. Historically, the earliest microfabrication processes were used for integrated circuit fabrication, also known as "semiconductor manufacturing" or "semiconductor device fabrication". In the last two decades microelectromechanical systems (MEMS), microsystems (European usage), micromachines (Japanese terminology) and their subfields, microfluidics/lab-on-a-chip, optical MEMS (also called MOEMS), RF MEMS, PowerMEMS, BioMEMS and their extension into nanoscale (for example NEMS, for nano electro mechanical systems) have re-used, adapted or extended microfabrication methods. Flat-panel displays and solar cells are also using similar techniques. Miniaturization of various devices presents challenges in many areas of science and engineering: physics, chemistry, materials science, computer science, ultra-precision engineering, fabrication processes, and equipment design. It is also giving rise to various kinds of interdisciplinary research. The major concepts and principles of microfabrication are microlithography, doping, thin films, etching, bonding, and polishing. (en)
- La microfabrication est l'ensemble des techniques de fabrication permettant de produire des dispositifs avec des structures de l'ordre du micromètre et en dessous. En général on distingue les techniques de microélectronique et ses dérivés, utilisés par exemple pour la fabrication des puces électroniques, des microsystèmes et des diodes laser, et les autres techniques dérivant des techniques d'usinage traditionnelles. Pour les techniques de fabrication dérivant de la microélectronique, des plaquettes de silicium sont généralement utilisés comme substrat. On structure ensuite le dispositif par une succession d'étapes de dépôt et de mise en forme par photolithographie et gravure sèche ou humide. Certaines entreprises, comme Alvéole (entreprise), utilisent la photolithographie sur des résines photosensibles (exemple : SU-8) pour créer des microstructures. Depuis le début des années 2000, la technique de polymérisation à deux photons permet à des chercheurs puis des entreprises de développer des machines de microfabrication 3D permettant de réaliser des structures d'une très grande complexitéLes principales spécificités des techniques de microsystèmes, comparées à la microélectronique, sont liées à la réalisation de parties mobiles, donc relativement détachées du substrat, ce qui s'obtient généralement par recours à une couche sacrificielle. (fr)
- 微細加工技術とは微小領域に精細な加工を施す技術である。 (ja)
- Microfabrication är processen att skapa miniatyrstrukturer i mikrometerskala (en miljondels meter) eller mindre. Ur historisk synvinkel utvecklades mikrofabrikationsprocesser för att skapa integrerade kretsar, även kallat "halvledartillverkning" eller "halvledarfabrikation". Under de senaste tre årtiondena har dessa processers användningsområde expanderat till att inkludera mikroelektromekaniska system (förkortat MEMS, amerikansk terminologi), mikrosystem (europeisk terminologi), mikromaskiner (japansk terminologi) och deras delfält: mikrofluidik/lab-on-a-chip, optiska MEMS (MOEMS), radiofrekvens-MEMS (RF MEMS), PowerMEMS, och deras utvidgning neråt nanoskalan (till exempel NEMS för nanoelectromechanical systems). Mikrofabrikationsprocesserna har återanvänts, men också anpassats och utvidgats. Vid tillverkning av plattskärmar och solceller används även liknande tekniker. Miniatyrisering av diverse strukturer innebär utmaningar inom flera vetenskaps- och ingenjörsgrenar: fysik, kemi, materialvetenskap, datavetenskap, ultraprecisionsteknik, tillverkningsprocesser och design. Det ger också upphov till olika former av interdisciplinär forskning. De grundläggande koncepten och metoderna inom mikrofabrikation är mikrolitografi, , , våtetsning, torretsning, och polering. (sv)
- A Microfabricação é o processo de fabricar estruturas em miniatura de escalas de micrômetros e menores. Historicamente, os primeiros processos de microfabricação eram usados para fabricação de circuitos integrados, também conhecidos como " fabricação de semicondutores" ou "fabricação de dispositivos semicondutores". Nas últimas duas décadas, sistemas microeletromecânicos (SMEM), microssistemas (uso europeu), micro-máquinas (terminologia japonesa) e seus subcampos, microfluídicos /lab-on-a-chip, SMEM ópticos, RF SMEM, SMEM de potência, BioSMEM e sua extensão em nanoescala (por exemplo, SNEM, para sistemas nano eletromecânicos) reutilizou, adaptou ou ampliou os métodos de microfabricação. Monitores de tela plana e células solares também estão usando técnicas semelhantes. A miniaturização de vários dispositivos apresenta desafios em muitas áreas da ciência e engenharia: física, química, ciência dos materiais, ciência da computação, engenharia de ultraprecisão, processos de fabricação e design de equipamentos. Também está dando origem a vários tipos de pesquisa interdisciplinar. Os principais conceitos e princípios da microfabricação são microlitografia, dopagem, filmes finos, gravura, colagem e polimento . (pt)
|
| rdfs:comment
|
- La microfabricación se refiere al empleo de técnicas de miniaturización, esencialmente litografías, para producir circuitos integrados o sistemas microelectromecánicos (MEMS). Las técnicas empleadas para producir circuitos integrados son principalmente litografías de superficie. Para la fabricación de sistemas microelectromecánicos se usan principalmente variantes de las litografías de superficie llamadas genéricamente micromaquinación de superficie (Surface micromachining), litografías de volumen (Bulk micromachining) y litografía de rayos X (LIGA). (es)
- 微細加工技術とは微小領域に精細な加工を施す技術である。 (ja)
- التصنيع الدقيق أو الإنتاج الدقيق (بالإنجليزية: microfabrication or micromanufacturing) هو مصطلح يستخدم لوصف عمليات تصنيع هياكل مصغرة، من أحجام ميكرومتر أصغر حجما. تاريخيا كان المصطلح عاما ويستخدم في منذ وقت قصير لصناعة أشباه الموصلات في تصنيع الدوائر المتكاملة، وقد تم تغطية هذه العمليات من جانب مصطلح آخر وهو تصنيع أجهزة أشباه الموصلات أو تصنيع أشباه الموصلات. (ar)
- La microfabrication est l'ensemble des techniques de fabrication permettant de produire des dispositifs avec des structures de l'ordre du micromètre et en dessous. En général on distingue les techniques de microélectronique et ses dérivés, utilisés par exemple pour la fabrication des puces électroniques, des microsystèmes et des diodes laser, et les autres techniques dérivant des techniques d'usinage traditionnelles. Certaines entreprises, comme Alvéole (entreprise), utilisent la photolithographie sur des résines photosensibles (exemple : SU-8) pour créer des microstructures. (fr)
- Microfabrication is the process of fabricating miniature structures of micrometre scales and smaller. Historically, the earliest microfabrication processes were used for integrated circuit fabrication, also known as "semiconductor manufacturing" or "semiconductor device fabrication". In the last two decades microelectromechanical systems (MEMS), microsystems (European usage), micromachines (Japanese terminology) and their subfields, microfluidics/lab-on-a-chip, optical MEMS (also called MOEMS), RF MEMS, PowerMEMS, BioMEMS and their extension into nanoscale (for example NEMS, for nano electro mechanical systems) have re-used, adapted or extended microfabrication methods. Flat-panel displays and solar cells are also using similar techniques. (en)
- A Microfabricação é o processo de fabricar estruturas em miniatura de escalas de micrômetros e menores. Historicamente, os primeiros processos de microfabricação eram usados para fabricação de circuitos integrados, também conhecidos como " fabricação de semicondutores" ou "fabricação de dispositivos semicondutores". Nas últimas duas décadas, sistemas microeletromecânicos (SMEM), microssistemas (uso europeu), micro-máquinas (terminologia japonesa) e seus subcampos, microfluídicos /lab-on-a-chip, SMEM ópticos, RF SMEM, SMEM de potência, BioSMEM e sua extensão em nanoescala (por exemplo, SNEM, para sistemas nano eletromecânicos) reutilizou, adaptou ou ampliou os métodos de microfabricação. Monitores de tela plana e células solares também estão usando técnicas semelhantes. (pt)
- Microfabrication är processen att skapa miniatyrstrukturer i mikrometerskala (en miljondels meter) eller mindre. Ur historisk synvinkel utvecklades mikrofabrikationsprocesser för att skapa integrerade kretsar, även kallat "halvledartillverkning" eller "halvledarfabrikation". Under de senaste tre årtiondena har dessa processers användningsområde expanderat till att inkludera mikroelektromekaniska system (förkortat MEMS, amerikansk terminologi), mikrosystem (europeisk terminologi), mikromaskiner (japansk terminologi) och deras delfält: mikrofluidik/lab-on-a-chip, optiska MEMS (MOEMS), radiofrekvens-MEMS (RF MEMS), PowerMEMS, och deras utvidgning neråt nanoskalan (till exempel NEMS för nanoelectromechanical systems). Mikrofabrikationsprocesserna har återanvänts, men också anpassats och utvid (sv)
|
