Alpha 21164は、ディジタル・イクイップメント・コーポレーション (DEC) が開発・製造したマイクロプロセッサであり、Alpha命令セットアーキテクチャ (ISA) を実装している。コード名 EV5 でも知られている。1995年1月、Alpha 21064A の後継として登場した。1998年には後継の Alpha 21264 に取って代わられた。
